RGA系列殘余氣體分析儀
簡(jiǎn) 述：
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
品 牌：
美國(guó) SRS
產(chǎn)品型號(hào)：
- RGA100
- RGA200
- RGA300
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
• 100，200，和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍可檢測(cè)5 x 10-14Torr
殘余氣體分析儀（RGA）劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號(hào)，其優(yōu)異的性能和價(jià)值是真空分析儀的領(lǐng)先產(chǎn)品。每一個(gè)RGA 系統(tǒng)都由一個(gè)四級(jí)桿探針和電子控制單元組成，實(shí)時(shí)分析windows 軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
• 100，200，和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍可檢測(cè)5 x 10-14Torr
• 實(shí)時(shí)RGA Windows 和LabVIEW 軟件質(zhì)譜，泄漏檢測(cè)和壓力對(duì)時(shí)間方式現(xiàn)場(chǎng)可更換的電子倍增器和燈絲RS232 計(jì)算機(jī)接口
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探測(cè)器類型 |
標(biāo)準(zhǔn)法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM) |
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分辨率 |
優(yōu)于0.5amu |
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靈敏度(A/Torr) |
2 × 10−4 (FC), <200 (EM) |
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探測(cè)極限 |
5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM) |
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測(cè)試范圍 |
10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM) |
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操作溫度 |
70℃ (max.) |
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工作溫度 |
300℃ (without ECU) |
13810233784
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