RGA系列殘余氣體分析儀
簡 述：
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
品 牌：
美國 SRS
產(chǎn)品型號：
- RGA100
- RGA200
- RGA300
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
• 100，200，和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個量級的動態(tài)范圍可檢測5 x 10-14Torr
殘余氣體分析儀（RGA）劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號，其優(yōu)異的性能和價值是真空分析儀的領先產(chǎn)品。每一個RGA 系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows 軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。
• 100，200，和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個量級的動態(tài)范圍可檢測5 x 10-14Torr
• 實時RGA Windows 和LabVIEW 軟件質譜，泄漏檢測和壓力對時間方式現(xiàn)場可更換的電子倍增器和燈絲RS232 計算機接口
|
探測器類型 |
標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM) |
|
分辨率 |
優(yōu)于0.5amu |
|
靈敏度(A/Torr) |
2 × 10−4 (FC), <200 (EM) |
|
探測極限 |
5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM) |
|
測試范圍 |
10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM) |
|
操作溫度 |
70℃ (max.) |
|
工作溫度 |
300℃ (without ECU) |
13810233784
在線咨詢
