面陣激光光束分析儀
簡(jiǎn) 述:
相機(jī)式光束分析儀采用二維陣列光電傳感器,直接將輻照在傳感器上的光斑分布轉(zhuǎn)換成圖像,傳輸至電腦并進(jìn)行分析。相機(jī)式光斑分析儀是目前使用最多的光斑分析儀,可以測(cè)試連續(xù)激光、脈沖激光、單個(gè)脈沖激光,可實(shí)時(shí)監(jiān)控激光光斑的變化。
品 牌:
美國(guó) Ophir-Spiricon
產(chǎn)品型號(hào):
- SP932U
- LT665
- SP504S
除了激光功率/ 能量外,激光在傳輸方向橫截面的強(qiáng)度分布以及激光的傳輸特性,也是激光器應(yīng)用中決定性的因素:絕大多數(shù)應(yīng)用需要根據(jù)激光的傳輸特性(M2)來設(shè)計(jì)光路;定量科學(xué)實(shí)驗(yàn)和高品質(zhì)激光加工都需要實(shí)際測(cè)量激光焦點(diǎn)的分布。同時(shí),很多激光器在使用中,泵浦源或光學(xué)器件衰減首先體現(xiàn)在激光光斑的變化上,定期測(cè)試激光光斑有助于提前發(fā)現(xiàn)衰減傾向,及早維護(hù),降低維護(hù)成本、縮短停機(jī)時(shí)間,預(yù)防激光器性能突變導(dǎo)致產(chǎn)線災(zāi)害。
激光的截面強(qiáng)度分布的測(cè)量(光斑分析)通常采用光束分析儀,而傳輸特性通常用M2 表征,由M2 測(cè)試儀按照ISO 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量。
Spiricon 公司是業(yè)內(nèi)久負(fù)盛名的激光光束分析儀和M2 生產(chǎn)廠家,自上世紀(jì)七十年代末開始研發(fā)提供激光光束品質(zhì)分析儀,并參與制定了光斑測(cè)量的ISO11146-3 標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品種類覆蓋CCD 相機(jī)式光束分析儀、InGaAs 面陣相機(jī)光束分析儀、熱釋電晶體面陣光束分析儀、狹縫掃描式光束分析儀、全自動(dòng)M2 測(cè)量?jī)x、高功率激光聚焦測(cè)試儀等,波長(zhǎng)覆蓋13nm ~ 3000μm,廣泛應(yīng)用于激光器制造、激光精密加工、光通訊、太赫茲、激光科學(xué)研究等領(lǐng)域。Spiricon 公司2006 年加入OPHIR 集團(tuán),使后者成為激光測(cè)量全系解決方案的供應(yīng)商。


面陣式激光光束分析儀
相機(jī)式光束分析儀采用二維陣列光電傳感器,直接將輻照在傳感器上的光斑分布轉(zhuǎn)換成圖像,傳輸至電腦并進(jìn)行分析。相機(jī)式光斑分析儀是目前使用*多的光斑分析儀,可以測(cè)試連續(xù)激光、脈沖激光、單個(gè)脈沖激光,可實(shí)時(shí)監(jiān)控激光光斑的變化。
完整的光束分析系統(tǒng)由三部分構(gòu)成:
• 相機(jī)。
相機(jī)確定了可測(cè)量的波長(zhǎng)范圍:硅基CCD 相機(jī)通常為190nm ~ 1100nm;InGaAs 面陣相機(jī)通常為900 ~ 1700nm;熱釋電面陣相機(jī)則可覆蓋13 ~ 355nm 及1.06 ~ 3000μm。相機(jī)的芯片尺寸決定了能夠測(cè)量的光斑的*大尺寸,而像素尺寸則決定了能夠測(cè)量的*小光斑尺寸;通常需要10 個(gè)像素體現(xiàn)一個(gè)光斑完整的信息。
• 光束分析軟件。
軟件除了采集數(shù)據(jù)并按照各種數(shù)學(xué)模型進(jìn)行分析計(jì)算外,更為重要的是確保光束分析計(jì)量的準(zhǔn)確性。Spricon 公司采用Ultra CALTM 技術(shù)扣除相機(jī)的起伏背景,確保在各種強(qiáng)度下得到的光斑都具備定量準(zhǔn)確性;豐富的光斑識(shí)別、手動(dòng)及自動(dòng)選區(qū)功能,避免光斑品質(zhì)計(jì)算中引入過大誤差甚至出現(xiàn)偽結(jié)果:例如對(duì)多模(多瓣)光束的自動(dòng)分析。
• 附件。
幾乎所有的激光器的強(qiáng)度都超過相機(jī)的飽和強(qiáng)度甚至損傷閾值,高品質(zhì)的衰減附件可確保在保持光束品質(zhì)的情況下衰減強(qiáng)度;擴(kuò)束、縮束、放大、投影成像等高品質(zhì)成像系統(tǒng)使得尺寸一定的傳感器可以適應(yīng)不同的光斑。
硅基CCD 相機(jī)
主要特點(diǎn)
主要特點(diǎn)
• 相應(yīng)靈敏度高
• 不同感光面尺寸可供選擇
• USB2.0/USB3.0/ Gigbit Ethernet 三種接口方式
• C-Mount 接口,可選擇衰減片、分光片等多種附件
主要應(yīng)用領(lǐng)域
• 半導(dǎo)體/ 光纖等激光器光斑分析
• 激光加工設(shè)備
• 生物醫(yī)療激光分析等
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相機(jī)型號(hào) |
SP932U |
LT665 |
SP504S |
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波長(zhǎng)范圍 |
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190-1100nm |
340-1100nm |
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芯片尺寸 |
7.1×5.3mm |
12.5×10mm |
23×23mm |
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像元大小 |
3.45x3.45jJm |
4.54×4.54jJm |
4.5x4.5jJm |
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分辨率 |
2048x1536 |
2752×2192 |
5120×5120 |
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動(dòng)態(tài)范圍 |
72dB |
54dB |
44.6 dB |
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靈敏度 |
0.2nW/cm2 |
0.3nW/cm2 |
0.25nW/cm2 |
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損傷閾值 50W/cm2、1J/cm2(< 100ns)-ND filter 全安裝時(shí) |
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接口方式 |
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USB3.0 |
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GigaE(POE) |
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特點(diǎn) |
通用 / 高動(dòng)態(tài) |
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大面陣 |
超大面陣 |












































































































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