橢圓偏振光測量儀FE5000
簡 述：
通過自動多角度橢圓偏振光測量儀實現(xiàn)高速的薄膜膜厚測量和高精度的光學(xué)常數(shù)解析
品 牌：
日本 大塚電子
產(chǎn)品型號：
- FE5000
可對應(yīng)各種選配，膜厚的特制解析
橢圓偏振光測量儀FE5000應(yīng)用范圍
功能進(jìn)一步展開的光譜橢圓偏振光測量儀FE5000
橢圓偏振光測量儀FE5000應(yīng)用范圍
- FPD LCD,PDP,FED,有機(jī)El
- 半導(dǎo)體 a-Si，poly-Si，其他
- 復(fù)合半導(dǎo)體 半導(dǎo)體激光，強(qiáng)電介質(zhì)
- 數(shù)據(jù)儲存 DVD,HDD,磁氣頭
- 光學(xué)材料 膜，防放射膜
- 膜 AR膜
FE-5000S
FE-5000的基礎(chǔ)上追加了FE-5000S系列。FE-5000S雖然和FE-5000有相同的基本功能，但是價格低，省空間。光譜橢偏儀的用途也得到擴(kuò)大。
FE-5000的基礎(chǔ)上追加了FE-5000S系列。FE-5000S雖然和FE-5000有相同的基本功能，但是價格低，省空間。光譜橢偏儀的用途也得到擴(kuò)大。
功能進(jìn)一步展開的光譜橢圓偏振光測量儀FE5000
高速高精度
納米級的薄膜膜厚測量
- 非接觸非破壞實現(xiàn)多層膜的解析
材料表面光學(xué)常數(shù)（n.k）的測量
- 可求得膜厚以及光學(xué)定數(shù)的波長分散
- 提供膜厚管理膜質(zhì)管理有用的信息
通過400ch以上的多通道光譜法，迅速測量橢圓光譜
- 可實現(xiàn)一分鐘以內(nèi)的高速測量
- 光譜點多，所以坡度大的橢圓光譜也可正確測量
利用多波長光譜儀實現(xiàn)高精度高感度測量
測量反射角度可變，對應(yīng)薄膜的高精度解析
可對應(yīng)特制解析的材料物性和多層膜等的高度評價
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